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    成都真空镀膜机

    成都鑫南光机械设备有限公司带大家一起来看一下成都真空镀膜机的参数:一、真空镀膜机主要用途:供制备薄膜无源微型元件。二、主要…

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    成都真空镀膜机


    成都鑫南光机械设备有限公司带大家一起来看一下成都真空镀膜机的参数:

    一、真空镀膜机主要用途:

    供制备薄膜无源微型元件。

    二、主要技术指标:

    1.          蒸发室极限真空度:       4×10-4Pa

    2.          蒸发室恢复4×10-3Pa的时间:  ≤15min

    3.          基片旋转架的转速:           0~60n/min

    4.          基片烘烤温度:               室温~350℃

    5.          蒸发电极数量:               3对

    6.          蒸发电极参数:                0~10伏   0~300A

    7.          离子轰击参数:                0~3000伏  0~200mA

    8.          钟罩容积:                    Φ500×620(mm)

    9.          需要动力:                   电力    10KW

    10.         外形尺寸:                     1300×830×1720(mm)

    四川真空镀膜机

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